公开/公告号CN103824766B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 内蒙古华延芯光科技有限公司;
申请/专利号CN201410093908.1
申请日2014-03-13
分类号
代理机构北京权泰知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人任永利
地址 017000 内蒙古自治区鄂尔多斯市杭锦旗锡尼镇阿斯尔西街北地税小区
入库时间 2022-08-23 09:53:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-22
授权
授权
2017-02-22
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/302 登记生效日:20170124 变更前: 变更后: 申请日:20140313
专利申请权、专利权的转移
2015-03-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/302 申请日:20140313
实质审查的生效
2014-05-28
公开
公开
机译: 碳化硅衬底的制造方法,半导体器件的制造方法以及碳化硅衬底和半导体器件的制造方法
机译: 碳化硅衬底的制造方法,半导体器件的制造方法以及碳化硅衬底和半导体器件的制造方法
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