一种基于纳米间隙电极的柔性pH传感器及制造方法

摘要

一种基于纳米间隙电极的柔性pH传感器及制造方法，柔性pH传感器包括柔性衬底，在柔性衬底上旋涂环氧树脂层，在环氧树脂层上制备一对以上的50～500纳米的纳米间隙电极，在每一对纳米间隙电极之间组装羧基功能化单壁碳纳米管，制造方法是先制作羧基功能化单壁碳纳米管悬浮液，然后制备纳米间隙电极，再介电泳组装羧基功能化单壁碳纳米管，最后进行柔性pH传感器预处理，去除与纳米间隙电极连接较弱的羧基功能化单壁碳纳米管并保留与纳米间隙电极强作用的羧基功能化单壁碳纳米管。本发明柔性pH传感器结构简单，适用范围广、灵敏度高、响应速度快、测试电压较低并且能够与集成电路相容，具有广大的发展前景。