公开/公告号CN105633190B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN201410602352.4
申请日2014-10-31
分类号
代理机构北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人胡剑辉
地址 100190 北京市海淀区中关村南三街八号
入库时间 2022-08-23 09:53:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-22
授权
授权
2016-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/102 申请日:20141031
实质审查的生效
2016-06-01
公开
公开
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