气相沉积装置和方法以及制造有机发光显示装置的方法

摘要

一种用于有效地执行沉积工艺以在基底上形成具有改善特性的薄膜的气相沉积装置和方法以及一种制造有机发光显示装置的方法。气相沉积装置包括：室，包括排放口；架台，设置在室内，并包括将基底设置在其上的安装表面；注入部分，包括至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底。