公开/公告号CN103426721B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 英飞凌科技股份有限公司;
申请/专利号CN201310197256.1
申请日2013-05-24
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人马丽娜
地址 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
入库时间 2022-08-23 09:52:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-01
授权
授权
2013-12-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20130524
实质审查的生效
2013-12-04
公开
公开
机译: 用于在关注区域内的位置处测量至少一个所选参数的方法,用于测量所选物理参数的方法和装置,用于在关注区域内的位置处测量所选物理参数的装置以及用于对目标区域上的参数进行测量的方法干涉式光纤设备
机译: 用于去除碎片的钻孔工具,其加工区域从中心点一直延伸到切削角,其轮廓沿该区域的纵向方向延伸,以便在重新锐化刀具时在刀具处获得加工效果
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