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金属－绝缘层－碳化硅MISiC高温气体传感器

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金属-绝缘层-碳化硅MISiC高温气体传感器，属电子器件领域，涉及一种高温气体传感器，旨在解决绝缘层及其界面质量问题，从而提高MISiC气体传感器的高温可靠性，使其符合高温下长期稳定工作之要求。本发明在碳化硅(SiC)基片上一面生长一层SiO

著录项

公开/公告号CN1243238C

专利类型发明授权
公开/公告日2006-02-22

原文格式PDF
申请/专利权人华中科技大学;
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申请/专利号CN200310111574.8
发明设计人徐静平;钟德刚;韩弼;
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申请日2003-12-12
分类号
代理机构华中科技大学专利中心;
代理人方放
地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
入库时间 2022-08-23 08:58:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2008-02-06

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2006-02-22

授权

授权
2005-01-26

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-11-17

公开

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外文文献

1. 金属－绝缘层－碳化硅MISiC高温气体传感器 [P] . 中国专利： CN1243238C . 2006.02.22
2. 用于高温应用的基于碳化硅的场效应气体传感器 [P] . 中国专利： CN107589164B . 2020.10.20
3. FET for chemical gas sensor, has protective layer portion comprising base layers, covering layers and interlayers between base layers and covering layers, which covers field insulation layer, gate insulation layer and metallic layer [P] . 德国专利： DE102010031153A1 . 2012-01-12

机译：用于化学气体传感器的FET，具有保护层部分，该保护层部分包括基础层，覆盖层以及基础层和覆盖层之间的中间层，其覆盖场绝缘层，栅极绝缘层和金属层
4. Gas sensor e.g. oxygen sensor, for determining substance in e.g. gaseous mixture in exhaust line of combustion engine, has insulating layer including fluctuation margin with thickness larger or equal to quarter of overall thickness of layer [P] . 德国专利： DE102012213625A1 . 2014-02-06

机译：气体传感器氧气传感器，用于确定例如内燃机排气管路中的气体混合物，具有绝缘层，该绝缘层的波动幅度大于或等于层总厚度的四分之一
5. Insulation for pipes carrying hot gases, e.g. exhaust gas pipes in ships' engines, consists of sheets of resilient metal sheet with insulation between and is fitted around pipe so that its ends fit together to form closed tube [P] . 德国专利： DE10009160A1 . 2001-09-20

机译：输送高温气体的管道的绝缘，例如船用发动机中的排气管，由弹性金属板构成，板之间具有绝缘层，并围绕管安装，以便其端部配合在一起以形成封闭管