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公开/公告号CN103969104B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201410217853.0
发明设计人 刘永波;顾晓芳;倪棋梁;龙吟;陈宏璘;
申请日2014-05-21
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王宏婧
地址 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 09:52:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-22
授权
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/36 申请日:20140521
实质审查的生效
2014-08-06
公开
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