公开/公告号CN1236495C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN02123861.8
申请日2002-07-05
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人王凤华
地址 100080 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2022-08-23 08:58:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/04 授权公告日:20060111 终止日期:20120705 申请日:20020705
专利权的终止
2006-01-11
授权
授权
2004-03-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-01-07
公开
公开
2002-09-25
实质审查的生效
实质审查的生效
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