原子氧束流能量测试系统

摘要

本发明公开了一种地面模拟设备中原子氧束流能量测试系统，包括真空容器，原子氧束流输入窗口、粒子偏离电极、粒子准直口、速度切割器、二维移动机构、抽气系统、控制系统、气体过滤系统和质谱仪，真空容器一侧壁上设置有原子氧束流输入窗口，另一侧壁上设置有质谱仪，原子氧束流经粒子偏离电极作用偏转原子氧束流中的带电粒子，并通过粒子准直口限定原子氧束流的飞行方向，飞行方向上设置有速度切割器以对原子氧束流能量进行筛选，速度切割器支撑在二维移动机构进行二维运动，速度切割器由控制系统控制其转速、相位，二维移动机构由控制系统控制其运动。