一种用于离子束刻蚀机的大口径平行束离子源

摘要

本发明公开了一种用于离子束刻蚀机的大口径平行束离子源。所述大口径平行束离子源主要由安装法兰、支杆、放电室、磁场部件、阳极、放电灯丝、中和灯丝、内罩以及绝缘件组成。磁场部件安装在放电室底部，阳极及放电灯丝安装在放电室内，栅网部件安装在放电室出口。本发明离子源所用磁场部件磁场区域大于放电室内径，放电灯丝及阳极高度可调，可根据实际工艺实验获取最佳位置，从而提高离子源出口离子束的性能。