CMOS有源像素图像传感器及其校准方法

摘要

本发明提供一种CMOS有源像素图像传感器及其校准方法，该CMOS有源像素图像传感器具有由多个CMOS有源像素组成的像素阵列，其中每个像素包括：光敏元件，其在入射光照射下产生光电流；放大器，其输入端与所述光敏元件耦接，用于对所述光敏元件所产生的光电流进行放大；以及积分电容器，耦接在所述放大器输入端和输出端之间，用于对经过所述放大器放大的光电流进行积分，以获得积分电压，其特征在于，所述积分电容器由CMOS有源像素传感器制造工艺中形成的金属层之间或者多晶硅层之间的寄生耦合形成。本发明中，利用CMOS有源像素图像传感器制造工艺中形成的金属层或多晶硅层之间的寄生耦合形成的小电容值的积分电容器，显著提高了CMOS有源像素图像传感器的灵敏度。