公开/公告号CN104364888B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立国际电气;
申请/专利号CN201380027921.0
申请日2013-05-23
分类号H01L21/31(20060101);H01L21/22(20060101);H01L21/677(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人陈伟
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:51:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/31 登记生效日:20181203 变更前: 变更后: 申请日:20130523
专利申请权、专利权的转移
2017-02-22
授权
授权
2017-02-22
授权
授权
2015-03-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/31 申请日:20130523
实质审查的生效
2015-03-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/31 申请日:20130523
实质审查的生效
2015-02-18
公开
公开
2015-02-18
公开
公开
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