模块化无尘室过滤系统

摘要

一种无尘室所用的空气过滤系统，包括若干过滤模块(16)，过滤模块通过连接在支持面上的支持杆(12)在交角处相互连接在一起，每个支持杆上有至少一个支持架(14，14’，14”)。过滤模块包括上板(18，18’)和过滤部件(19)，在上板可分离的情况下，上板固定在上支持架上，过滤部件有刚性的框(21)和装在其上的过滤板(27)，并固定在下支持架上。在过滤部件下面，照明装置(38)可以固定在过滤框上的中央分隔器(40)上，散射板(50)或流线型部件(60)可以固定在支持架上。