クリーンルームにおけるフアンフィルタユニット監視制御システム

摘要

半導体，液晶，医薬，食品などの分野で幅広く利用されているクリーンルームで，フアンフィルタユニット(FFU)は，1工場あたリ1万台以上（大規模の場合）採用されている。本稿では，FFU の保守管理の省力化を図ったFFU監視制御システムを紹介する。 FFU監視制御システムは，高信頼性·高機能，システムの拡張性が要求されている。 また，小規模（FFU数十台程度）から大規模（FFU数万台）クリーンルームまで適用できるようにメニューを取りそろえた。