一种双E型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器

摘要

本发明公开了一种用于同时获取全加速度信息的六维加速度传感器，即一种双E型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器，可同时实现对三维空间坐标中三轴向线加速度和角加速度的测量。该传感器利用厚膜技术，以陶瓷材料的圆膜片和十字梁作为敏感弹性基体，采用双E型圆膜片和十字梁组成的结构，在陶瓷基体上烧结厚膜力敏电阻，通过特殊的组桥方式和解耦实现对三维线加速度和三维角加速度的同时测量，其主要应用于各种机器人灵巧手多轴指力和腕力传感器的动态补偿、动力学解耦和基于加速度反馈控制等场合。