一种减反结构和减反膜

摘要

一种减反结构和减反膜，包括位于上下外侧的两层介质层、位于中间的导电金属层和分别夹在导电金属层与两层介质层之间的两层抗氧化金属层，其中所述抗氧化金属层为锌或钛。该减反结构的实际物理厚度在几十个纳米的范围，利用该减反结构，选择柔性基材，通过卷对卷磁控溅射的方法，实现具有优异光学性能且厚度仅有几十个纳米的减反射膜的大规模生产，为克服传统减反膜的缺点进行大面积产业化生产指明一条新思路。