大口径高陡度空间光学非球面反射镜立式加工方法及装置

摘要

大口径高陡度空间光学非球面反射镜立式加工方法及装置，涉及光学加工领域，解决了现有非球面反射镜的接触式加工存在的加工效率低、成本高、精度低的问题。首先向射频线圈通冷却水，向中间管通高纯氩气，向外管通高纯氩气；调节射频电源功率加载在射频线圈上；接通高压特斯拉点火线圈产生高压电火花并在石英炬管内部感生出电子并击穿高纯氩气，点燃等离子体形成高温等离子体炬；向中心管通工作气体和高纯氧气，工作气体被高温等离子体炬所激发形成活性基团；控制机械臂按轨迹移动带动等离子发生器在非球面反射镜表面移动，喷射的活性基团与非球面反射镜材料发生化学反应生成挥发性气态物质。本发明在常压条件下进行，成本低、体积小，去除率较高。