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公开/公告号CN105359251B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201480037476.0
发明设计人 山本昭夫;渡边敏光;大月繁夫;加岛一树;矢乃仓利明;
申请日2014-05-30
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人范胜杰
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:49:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-14
授权
2016-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 49/10 申请日:20140530
实质审查的生效
2016-02-24
公开
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