公开/公告号CN104678720B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201310634236.6
申请日2013-12-03
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 09:49:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-29
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 9/00 变更前: 变更后: 申请日:20131203
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2017-01-04
授权
授权
2017-01-04
授权
授权
2015-07-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20131203
实质审查的生效
2015-07-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20131203
实质审查的生效
2015-06-03
公开
公开
2015-06-03
公开
公开
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机译: 梯级提升工件的方法和利用机床旋转开关工作台进行加工的装置
机译: 用于工件的旋转铣削的机床部件,即旋转工作台,具有包括补偿质量即固体的平衡系统,以及用于对补偿质量进行定位的定位装置。
机译: 用于对旋转对称工件的圆周凹槽进行构图的方法,涉及通过工件的旋转驱动来使轧制工具沿金属板的方向插入到预制凹槽中的径向进给运动。