最佳材料制成的耐用的流体流量及特性微型传感器

摘要

含有所需的物理结构及热特性的一种耐用的传感器能在恶劣的环境条件下测量流体流量及特性。该传感器电路小片由一种材料制成，该材料具有被修正的热传导率以提供为避免该传感器饱和所需的热传递特性，因此能在高压力及经常性恶劣的环境下测量大流量空气流及液流的特性，这是硅基传感器先前做不到的。该耐用的传感器还具有用于后侧电连接的内通路，因此避免了对测量的电及机械干扰。所有这些特点一起提供了一种微型传感器，它在恶劣环境下能可靠地，即稳定地、宽动态范围及快速响应地工作。