静电加速器及其离子注入设备

摘要

本发明提供了一种静电加速器及其离子注入设备。此静电加速器具有在作为一种带电粒子的离子的行进方向上布置的第一至第五电极。然后，该第二电极分成两个电极组元，该电极组元通过离子的路径彼此相对，且在其上施加不同的电势以偏转离子。此外，布置在该电极下游侧的多个电极沿被该电极偏转的且具有特定能量的离子的轨道布置。本发明的静电加速器与现有技术的静电加速器相比能抑制能量污染并缩短带电粒子的输运距离。