一种基于光谱仪的光学位移传感器信号解调方法

摘要

本发明涉及一种基于光谱仪的光学位移传感器信号解调方法。本发明采取的方案为：对波长编码式光学位移传感器的数据处理流程为：（1）光谱仪读取传感器的输出衍射光的光谱数据；（2）通过半高宽寻峰算法对数据进行处理得到中心波长；（3）由中心波长通过综合回归插值求得位移信息。本发明去掉了以往通过衍射公式求取栅密的过程，直接由中心波长求得位移，其优点在于：a)快速性，无需进行栅密计算的过程，缩短了数据处理时间；b)准确性，抛开了栅密方程拟合的误差，提高了计算精度；c)独立性，不受光栅衍射角度误差的影响，消除了加工及装配误差。