增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法

摘要

一种增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法，包括如下步骤：步骤1：取一待沉积的衬底；步骤2：在衬底上生长聚对二甲苯薄膜；步骤3：采用氧反应离子刻蚀工艺，将聚对二甲苯薄膜的表面制备成绒毛状纳米结构；步骤4：在制备成绒毛状纳米结构的聚对二甲苯薄膜上沉积金属，完成制备。本发明通过氧反应离子刻蚀工艺进行表面改性，在聚对二甲苯薄膜的表面形成绒毛状的纳米结构，提高聚对二甲苯薄膜的表面能，从而增强聚对二甲苯薄膜与金属层之间的粘结强度。