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公开/公告号CN1235278C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 华为技术有限公司;
申请/专利号CN02143017.9
发明设计人 贺超;
申请日2002-09-11
分类号H01L21/66(20060101);H01L21/70(20060101);G06F17/50(20060101);
代理机构
代理人
地址 518057 广东省深圳市科技园科发路华为用户服务中心大厦知识产权部
入库时间 2022-08-23 08:58:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20060104 终止日期:20150911 申请日:20020911
专利权的终止
2006-01-04
授权
2004-05-26
实质审查的生效
2004-03-17
公开
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