具有耐熔中间层和VPS 焦点轨迹的阳极盘元件

摘要

通过建立诸如碳加强的碳复合材料之类的碳衬底或者其它陶瓷衬底（50）来形成阳极（30）。在陶瓷衬底上电镀可延展耐熔金属，以便至少在焦点轨迹部分（36）上形成耐熔金属碳化物层（52）以及可延展耐熔金属层（54）。在可延展耐熔金属层上真空等离子体喷涂高‑Z耐熔金属，以便至少在所述焦点轨迹部分上形成真空等离子体喷涂的高‑Z耐熔金属层（56）。