一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工装置

摘要

本发明涉及一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工装置，属于微纳加工领域。该装置使用飞秒激光进行加工。首先对入射激光进行整形产生双光点光束，然后通过三维位移平台控制样品的位置，使得双光电光束与样品之间相对运动形成加工图案。通过控制聚焦平面与样品表面之间的距离控制线宽。该装置无需在真空条件下加工，降低对加工环境的要求，有利于成本的降低；无需掩膜，从而减少加工步骤，提高加工效率；金属纳米线由较为成熟的电子束蒸镀的方法产生，内部不存在纳米间隙，电导率较高；且金属纳米线的宽度可以大范围调节。该装置提供了一种可靠、高效、灵活的金属纳米线加工装置。