离轴三反非球面系统凸非球面次镜面形拼接检测方法

摘要

离轴三反非球面系统凸非球面次镜面形拼接检测方法涉及检测光学领域，通过子孔径拼接算法求解得到大口径离轴凸非球面反射镜全口径的面形，为其进一步加工提供依据和保障。该方法所用的装置包括：激光跟踪仪、激光干涉仪、第三反射镜、待测大口径离轴凸非球面次镜、主反射镜和高精度平面反射镜；系统装调检测的方法如下：系统装调，中心视场波像差检测，其它视场波像差检测，各视场面形数据拼接计算和全口径面形数据插补。该方法将光学系统波像差测试和子孔径拼接测量技术结合在一起完成对大口径离轴凸非球面面形的检测，拼接子孔径数目少，操作和运算简易，且在次镜的加工和检测过程中实现了整个光学系统的装调和测试，节省了时间，降低了成本。