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ITO层及ITO图案的制作方法、显示基板及显示装置

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摘要

本发明提供了一种氧化铟锡层的制作方法，该方法通过在本底真空环境下采用磁控溅射工艺在衬底基板上沉积氧化铟锡层，所述磁控溅射工艺的工作气为氩气，在沉积非晶氧化铟锡层的过程中，向本底真空环境中通入水形成水蒸气，通入水的速度为Q2*T

1. ITO层及ITO图案的制作方法、显示基板及显示装置 [P] . 中国专利： CN104313542B . 2016.09.28
2. 一种以图案化ITO作为透明导电层的电致玻璃及制作方法 [P] . 中国专利： CN108008587A . 2018-05-08
3. PATTERNING METHOD OF ITO FILM, COLOR FILTER SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY BY PATTERNING METHOD OF THE ITO FILM, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE [P] . 日本专利： JP2006114428A . 2006-04-27

机译： ITO膜的图案化方法，用于液晶显示的彩色滤光基板以及液晶显示装置
4. PIXEL DEFINITON LAYER, DISPLAY SUBSTRATE, DISPLAY DEVICE AND INKJET PRINTING METHOD [P] . US2021376017A1 . 2021-12-02

机译：像素DefiTon层，显示基板，显示装置和喷墨打印方法
5. ITO SUBSTRATE FOR ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE DISPLAY, INCLUDING INSULATION LAYER, METAL LAYER, AND ITO LAYER FORMED ON INSULATION LAYER AND METAL LAYER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME [P] . 韩国专利： KR20040102853A . 2004-12-08

机译：用于有机电致发光显示器的ITO基质，包括绝缘层，金属层和由绝缘层和金属层组成的ITO层，以及制造该层的方法