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光学标尺、光学标尺的制造方法以及光学式编码器

摘要

提供一种能够降低检测光量的变动的影响且提高分辨率的光光学标尺、光学标尺的制造方法以及光学式编码器。光学标尺透射或反射光源的光源光,该光学标尺以不交叉且切线方向连续变化的方式配置多个金属细线。另外,光学式编码器包括:该光学标尺;光源;光学传感器,其包括在第一偏振方向上分离在光学标尺透射或反射光源的光源光而入射的入射光的第一偏振层、在第二偏振方向上分离入射光的第二偏振层、接收由第一偏振层分离出的第一分离光的第一受光部及接收由第二偏振层分离出的第二分离光的第二受光部;以及运算单元,其根据第一分离光的光强度和第二分离光的光强度,来计算光学标尺与光学传感器的相对的移动量。

著录项

  • 公开/公告号CN104024804B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-10-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日本精工株式会社;

    申请/专利号CN201280053932.1

  • 发明设计人 小口寿明;笹尾邦彦;杉田澄雄;

    申请日2012-10-31

  • 分类号G01D5/347(20060101);

  • 代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘新宇

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 09:47:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-10-12

    授权

    授权

  • 2014-10-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/347 申请日:20121031

    实质审查的生效

  • 2014-09-03

    公开

    公开

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