一种原子层沉积制备施主-受主共掺氧化锌薄膜的方法

摘要

本发明公开一种原子层沉积制备施主‑受主共掺氧化锌薄膜的方法，包括将基片放入ALD反应腔室中，对基片及腔室管道进行加热，然后依次进行多组分的复合沉积；所述复合沉积包括在第一次锌源沉积后，分别引入一次包含III主族元素X的施主掺杂源的掺杂沉积、第二次锌源沉积、至少两次氮掺杂源沉积及至少两次氧源沉积，形成N‑X‑N的共掺；所述氮掺杂源沉积和所述氧源的沉积顺序是先氮掺杂源沉积，后氧源沉积；所述包含III主族元素施主掺杂源沉积与所述第二次锌源沉积顺序是先包含III主族元素施主掺杂源沉积，后第二次锌源沉积。该方法可以对氧化锌薄膜进行原位的施主‑受主的共掺，以增加受主元素的掺入量，促进氧化锌薄膜的p型转变。