硬脆性材料的磨削、研磨加工系统以及磨削、研磨方法

摘要

本发明提供硬脆性材料的磨削、研磨加工系统以及磨削、研磨方法，具有将由硬脆性材料构成的被加工物的截面尺寸形成为公差范围内的磨削功能和除去磨削加工后的被加工物的表层的微裂纹并细化表面粗糙度的研磨功能。磨削、研磨加工系统具有：对由硬脆性材料构成的被加工物(W)的表层部进行磨削而除去该被加工物的表层部的杂质与柱轴方向的变形并将截面尺寸形成为所希望的尺寸磨削装置(1)、对结束磨削加工后的被加工物的表层部的凹凸进行研磨，除去该被加工物的表层部的微裂纹并细化表面粗糙度的研磨装置(2)、以及以初始设定项目和磨削装置以及研磨装置的测量信号为基础进行运算处理并向磨削装置以及研磨装置输出工作信号的控制单元。