用于衬底和离子束照射装置的充电电压测量装置

摘要

一种充电电压测量装置，包括用于与设置在衬底保持单元上的衬底形成静电电容Cs的测量电极、连接在测量电极和地电位部分之间并具有静电电容Cm的测量电容器、测量在测量电容器上的测量电压Vm的电压测量单元和计算单元。基于在时间t1时的测量电压(t1)、分压比的倒数K和与测量电容器18并联设置的电阻的电阻值Rm，该计算单元22根据下面的数值表达式计算在时间t1时在衬底表面上的充电电压Vs，Vs＝K[Vm(t1)+{1/(Cm·Rm)}∫₀^t1Vm(t)dt]其中K＝(Cs+Cm)/Cs或K＝Cm/Cs(如果Cm＞＞Cs)。