两种首次用于动态离子束混合镀膜的新装置

摘要

一、引言近几年来研究成的许多薄膜沉积技术,其新颖之处在于形成薄膜所需的轰击能量上,而轰击能量的大小会影响薄膜的金相结构和其它特性。硬质材料的镀层,尤其是耐熔的碳化物,由于它们的高硬度和抗磨、抗蚀的特性。