一种光学邻近修正的焦平面选择方法

摘要

本申请公开了一种光学邻近修正的焦平面选择方法，该方法在建立光学邻近效应模型过程中，在原本对焦平面不敏感的光罩图形中加入焦平面敏感的检测图形，用于选择最佳焦平面相关参数的取值，突破了用泊桑曲线选择最佳焦平面的局限性。