一个光罩内的单元芯片存在不同图像条件的缺陷扫描方法

摘要

本发明公开了一种一个光罩内的单元芯片存在不同图像条件的缺陷扫描方法，通过采用定义单元芯片的扫描区域内重复的最小重复单元，让相邻的最小重复单元之间进行对比来确认是否存在缺陷的array mode缺陷扫描方法，对半导体图像处理实验芯片上一个光罩内的不同单元芯片的对应功能区域存在具有不同图形和CD参数的图像条件的情况，进行精确的缺陷扫描。本发明适用于单元芯片内存在多个不同图形的重复CELL区域的情况，以及单元芯片内相同位置的CELL区域大小相同，但同一区域的重复的CELL区的CD大小或者图形不同的情况，可避免die to die缺陷扫描方法造成的缺陷误判干扰，因而提高了实验芯片的良率。