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防止超厚金属上钝化层的破裂

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摘要

器件包括顶部金属层；在顶部金属层上方并且具有第一厚度的UTM线；在UTM线上方并且具有第二厚度的钝化层。第二厚度与第一厚度的比值小于约0.33。

1. 防止超厚金属上钝化层的破裂 [P] . 中国专利： CN102683321B . 2016.08.31
2. 光阻胶清洗腔室和去除超厚金属层上残余光阻胶的方法 [P] . 中国专利： CN104779180A . 2015-07-15
3. Preventing the cracking of passivation layers on ultra-thick metals [P] . 美国专利： US8860224B2 . 2014-10-14

机译：防止超厚金属上的钝化层破裂
4. Preventing the Cracking of Passivation Layers on Ultra-Thick Metals [P] . 美国专利： US2012217641A1 . 2012-08-30

机译：防止超厚金属上钝化层的破裂
5. Protection of metallic structures or layers deposited on a substrate, e.g. a vehicle windscreen, against electrical corrosion, whereby a passivation voltage is at least temporarily applied to the structure to be protected [P] . 德国专利： DE10300388A1 . 2004-07-22

机译：保护沉积在基板上的金属结构或金属层，例如车辆挡风玻璃，防止电腐蚀，从而将钝化电压至少临时施加到要保护的结构上