公开/公告号CN104064631B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201410334717.X
申请日2014-07-15
分类号H01L31/18(20060101);H01L31/101(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:46:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-08
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 31/18 登记生效日:20180419 变更前: 变更后: 申请日:20140715
专利申请权、专利权的转移
2016-08-31
授权
授权
2016-08-31
授权
授权
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20140715
实质审查的生效
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20140715
实质审查的生效
2014-09-24
公开
公开
2014-09-24
公开
公开
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