自由基固化性化合物、自由基固化性化合物的制造方法、自由基固化性组合物、其固化物、以及抗蚀材料用组合物

摘要

本发明提供耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物。一种自由基固化性化合物，其特征在于，由下述通式(1)表示。(式(1)中，R¹、R²以及R³各自独立地为碳原子数1～8的烷基，m和n各自独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。此外，X、Y以及Z各自独立地为丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基或者羟基中的任一种，X、Y、Z之中的至少一者为丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰氧基，t为1或者2。)。