用于电子束蒸镀的容纳装置、蒸镀源及真空镀膜系统

摘要

本公开提供了一种用于电子束蒸镀的容纳装置，包括：真空腔体，真空腔体包括：容纳段，用于与电子束蒸镀装置真空密封连接并且容纳电子束蒸镀装置的至少一部分；以及输出段，与容纳段连通，用于输出源材料的束流；以及冷却装置，与容纳段和/或输出段热耦合，用于对容纳段和/或输出段进行冷却。