一种低氮氧化钽的制备方法及其制备的低氮氧化钽

摘要

本发明公开了一种低氮氧化钽的制备方法，除包括中和沉淀、调洗除氟、烘干和煅烧步骤外，在调洗除氨步骤和烘干步骤之间，还包括调洗除氨。具体操作为：经过调洗除氟后的氢氧化钽用75~85℃纯水调洗至氮含量≤0.10g/L。所述制备方法在调洗除氨步骤和烘干步骤之间，还包括蒸馏：经过调洗除氨的氢氧化钽置于蒸馏容器中，通入蒸汽，在压力0.1~0.5MPa下蒸馏3~6小时。此外，本发明还对烘干和煅烧步骤进行了优化和改进。本发明还提供一种低氮氧化钽，所述低氮氧化钽氮含量≤60ppm，通过上述制备方法制备得到。