超大产能真空镀膜腔及用于异质结技术的真空镀膜设备

摘要

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种超大产能真空镀膜腔以及用于异质结技术的真空镀膜设备，超大产能真空镀膜腔具有一内腔，所述内腔上部设有分气组件，所述分气组件至少包括由上至下依次由气孔连通的第一分气板、第二分气板，能够极大地改善腔内气流场均匀性差的问题，凸台状的导热件，减少加热器和硅片的距离，来提高加热效率和温度均匀性，保证了内腔镀膜的工艺效果；同时直线式多工艺腔排布方式，也同步降低了生产节拍，大大增加了设备产能。