烧结钕铁硼磁体表面多弧离子镀制备多层复合防护涂层的工艺

摘要

本发明属于表面防护涂层技术领域，具体是一种烧结钕铁硼磁体表面多弧离子镀制备多层复合防护涂层及工艺。采用多弧离子镀沉积技术高效地在烧结钕铁硼磁体表面制备过渡层、耐蚀层、表面阻挡与耐磨层复合防护涂层，实现显著改善烧结钕铁硼磁体的耐蚀性，延长使用寿命。其工艺步骤为：(1)磁体表面除油、除锈，清洁表面；(2)真空镀膜室内辉光放电反溅清洁表面；(3)多弧离子镀Ti或者Cr过渡层；(4)多弧离子镀Al或Al合金；(5)多弧离子镀AlN层。采用电弧离子镀膜技术，结合多功能层复合结构涂层体系的设计，该工艺具有沉积效率高，涂层结合力和致密度高，工艺简单，环保无污染，低成本，易于实现批量规模化生产。