一种基于光谱共焦原理的精密厚度对射测量装置

摘要

本实用新型是一种基于光谱共焦原理的精密厚度对射测量装置，包括光学隔振平台，光学隔振平台上竖向连接有光学升降柱，光学升降柱上连接有被测物放置平台，在位于所述被测物放置平台上方和下方的光学升降柱上分别滑动地连接有夹持式固定滑块，夹持式固定滑块上设置有光谱共焦探头，使得被测物放置平台上方和下方的光谱共焦探头对其形成对射结构，上下光谱共焦探头的测量光束共线照射进被测物放置平台的条形通孔里，对被测物放置平台上的被测物测厚。本实用新型结构能快速实现两个对射探头的光束焦点共线，实现透明材料、非透明材料的测厚，提高了测量精度，尤其对移动的被测物、厚度不均匀的被测物的厚度测量，测量精度能得到明显的改善。