基于波长扫描的光谱共焦位移测量方法及装置

摘要

本发明属于光电测量领域，为实现非接触位移精密测量，同时测量精度高、快速、易操作，本发明，一种基于波长扫描的光谱共焦位移测量装置，包括如下部分：波长扫描光源、输入光纤、光纤耦合器、针孔、色散物镜、输出光纤、光电探测器，波长扫描光源输出单色光，波长在上下限波长范围内来回扫描，光源发出的单色光耦合进输入光纤，输入光纤接入光纤耦合器，光纤耦合器输出至针孔形成点光源，单色光通过色散物镜汇聚至光轴上某一焦点处，在波长扫描过程中不同波长的单色光可形成一系列焦点，在特定时刻，某单色光的焦点恰好与待测表面重合，焦点处的反射光经光电探测器转换为电压信号。本发明主要应用于光电测量场合。