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粘接痕迹小的可变形反射镜及该镜子的制造方法

摘要

本发明涉及一种可变形反射镜,该可变形反射镜包括具有反射面(3)的可变形薄膜(2),所述薄膜安装在支撑件上,所述支撑件配置有至少一个用于使所述薄膜(2)变形的驱动器,所述驱动器包括至少一个通过粘合剂接头(8)固定在所述薄膜(2)上的可移动部件(7),所述可移动部件具有位于所述粘合剂接头(8)外部的主体(11),从所述主体延伸出的活动部(12)整个或部分插入所述粘合剂接头(8)中,使得所述粘合剂接头(8)在基本上与所述反射面(3)平行的所述隐藏面(4)上扩散并粘接在所述活动部(12)的至少部分侧壁(14)上,所述活动部形成限制所述反射面(3)上的粘接痕迹的尖端(32)。可变形反射镜适用于光学系统。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-31

    授权

    授权

  • 2013-11-06

    著录事项变更 IPC(主分类):G02B 26/08 变更前: 变更后: 申请日:20110405

    著录事项变更

  • 2013-05-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/08 申请日:20110405

    实质审查的生效

  • 2013-04-10

    公开

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