静电卡盘静电吸附力的测量装置

摘要

本发明公开了一种静电卡盘静电吸附力的测量装置，属于半导体行业设备检测技术领域，所述测量装置包括真空腔室和与所述真空腔室连接的真空获取装置，所述真空腔室内设置有静电卡盘基座，所述静电卡盘基座上设置有静电卡盘，所述真空腔室内在所述静电卡盘的下方设置有至少一个测量系统，所述测量系统包括传感器基座、压力传感器和支撑件，其中所述传感器基座固定在所述真空腔室的底部，所述压力传感器安装在所述传感器基座上，所述支撑件的下端与所述压力传感器相连接，所述支撑件的上端适于支撑晶片。本发明的测量系统位于静电卡盘的下方，大大提高了测量精度，不需要动力系统，易于保证真空腔室的密封性。