法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-30
授权
实用新型专利权授予
技术领域
本实用新型涉及硅片传输附属装置的技术领域,特别是涉及一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构。
背景技术
硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。
光伏组件工厂中,硅片需要从石墨舟运送到花篮,现有技术中,多采用人工的方式进行,搬运效率不高,并且还容易出现破损的情况。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构,其结构简单,可自动将不同尺寸的硅片输送到花篮处,提高搬运效率。
本实用新型的一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构,包括花篮以及位于花篮一侧的底板,底板上固定有导轨、支撑板和机架,支撑板和机架分别处于导轨的两侧,导轨上滑动安装有调节座,调节座上固定有基板,基板顶部两端均滑动安装有L型板,底板上还固定有气缸,气缸输出端与调节座连接,还包括伸缩传输机构,所述伸缩传输机构包括两组导轮机构,套装在导轮机构上的传送带以及用于驱动传送带运转的电机,导轮机构包括与L型板靠近花篮一端转动连接的调节轮一、与L型板靠近基板一端转动连接的调节轮二、与支撑板转动连接的导轮一以及与支架转动连接的多个导轮二。
进一步地,所述调节座上安装有挡片,底板上固定有与挡片配合的到位传感器。
进一步地,所述导轮机构还包括与支撑板转动连接的导轮三,导轮三与导轮一交错设置。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为:通过本装置,可自动将硅片传送至花篮内部,并且同时还可以对不同尺寸的硅片进行适应,大大提高了传输效率。
附图说明
图1是本实用新型前视角度的立体图;
图2是本实用新型后视角度的立体图;
图3是图1中A部的局部放大图;
附图中标记:1、花篮;2、底板;3、导轨;4、支撑板;5、机架;6、调节座;7、基板;8、L型板;9、气缸;10、传送带;11、电机;12、调节轮一;13、调节轮二;14、导轮一;15、导轮二;16、挡片;17、到位传感器;18、导轮三。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
如图1至图3所示,本实用新型的一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构,包括花篮1以及位于花篮1一侧的底板2,底板2上固定有导轨3、支撑板4和机架5,支撑板4和机架5分别处于导轨3的两侧,导轨3上滑动安装有调节座6,调节座6上固定有基板7,基板7顶部两端均滑动安装有L型板8,底板2上还固定有气缸9,气缸9输出端与调节座6连接,还包括伸缩传输机构,伸缩传输机构包括两组导轮机构,套装在导轮机构上的传送带10以及用于驱动传送带10运转的电机11,导轮机构包括与L型板8靠近花篮1一端转动连接的调节轮一12、与L型板8靠近基板7一端转动连接的调节轮二13、与支撑板4转动连接的导轮一14以及与支架转动连接的多个导轮二15,传送带10的顶部与L型板8的顶面贴合,使得硅片在传输时,L型板8可对硅片进行一部分支撑;
进一步地,调节座6上安装有挡片16,底板2上固定有与挡片16配合的到位传感器17;
进一步地,导轮机构还包括与支撑板4转动连接的导轮三18,导轮三18与导轮一14交错设置;
本实用新型的一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构,其在工作时,如图1中所示的位置上,将硅片置于到传送带10上,操作气缸9使气缸9活塞杆伸长,使得调节座6、基板7、L型板8、调节轮一12和调节轮二13等均向花篮1一侧进行移动,当伸入到花篮1内部后,开启电机11使传送带10运转,从而将硅片传输至花篮1内部,花篮1在承接住硅片后,由外界驱动使花篮1上移,随后操作气缸9使气缸9活塞杆缩短,当挡片16达到到位传感器17处时,气缸9停止,当需要对不同尺寸的硅片进行适应时,调节L型板8与基板7的相对位置即可,并使用沉头螺栓将L型板8固定在基板7上,并且使用者需要根据传送带10与导轮一14和导轮二15的位置,为防止传送带10脱轮,合适选择传送带10是套装在导轮一14还是导轮二15上;
当气缸9伸缩时,调节轮一12和调节轮二13之间的距离始终不变,传送带10始终保持张紧状态上。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
机译: 一种将新版本软件下载到根据该软件进行操作的传输系统中的方法以及一种具有下载新版本软件功能的传输系统
机译: 具有飞行器机构/接口的飞行器数字单词传输,其具有传输连接,该传输连接具有通过连接传输的文本消息,并且如果未检测到异常则进行异常分析/传输
机译: 使用具有文件传输功能的即时信使的文件传输功能的文件传输系统以及使用该文件传输方法的文件传输方法