可调整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法

摘要

本发明提供一种可调整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法，包括如下步骤：步骤1、提供紫外光灯(10)与待紫外光清洗的基板(20)；步骤2、在紫外光灯(10)与待紫外光清洗的基板(20)之间设置数块遮光板(30)；步骤3、转动遮光板(30)，调整紫外光灯(10)发出的紫外光照射到基板(20)上的面积，从而控制单位时间内紫外光照射到基板(20)上的能量；步骤4、紫外光灯(10)发出紫外光清洗基板(20)。通过该方法可以灵活调节用于基板清洗的紫外光能量，达到既能有效去除黏附于基板表面的有机物，又能避免设于基板上的电路图形被静电击伤的目的，从而提高产品品质及良率。