一种能有效减少大颗粒的抛光液供给装置

摘要

本实用新型为一种能有效减少大颗粒的抛光液供给装置，包括抛光液循环供给模块、回流大颗粒去除模块、抛光液供给模块、去离子水清洗模块和大颗粒检测控制模块。在回流管路和供给管路末端加入大颗粒去除设备，用于减少抛光液中的大颗粒数量，以减少划伤，提高抛光质量。去离子水清洗模块可对整个抛光液供给装置进行清洗，避免管路出现结晶和大颗粒残存；去离子水清洗控制阀和循环控制阀为开闭状态互斥控制阀，实现供给状态与清洗状态互斥，在方便清洗的同时确保抛光液供给模块的正常工作。大颗粒检测控制模块包括大颗粒检测控制单元和大颗粒检测传感器，能根据抛光液的大颗粒数量自动控制循环管路的回流量，快速有效实现抛光液中大颗粒的去除。