曝光装置用的对准装置以及对准标记

摘要

对准装置设置有射出用于对准的光的对准光源，例如内置于照相机。而且，对准光源例如与照相机检测出的光的光轴同轴地射出对准光。对准光照射到基板和掩模，反射光由照相机所检测。在掩模对准标记与基板对准标记之间还存在用于曝光的微透镜阵列，由此，从基板对准标记反射的正立等倍像被成像在掩模上。进而，通过由照相机检测出的掩模对准标记的反射光以及基板对准标记，控制装置进行基板与掩模的对准。由此，能以高精度执行基板与掩模的对准。